产品描述:
KT200XY 系列是大行程纳米级定位精度的 XY 一体式
运动平台,采用直线电机直接驱动和交叉滚子导轨。
平台具备 200 mm 级平面行程、稳定闭环控制和紧凑
一体化结构,适合精密检测、光学调校、半导体检
测、微纳加工和自动化设备集成。

产品特性
● 纳米级定位精度,补偿后定位精度 ±0.25 µm。
● XY 一体式大行程结构,有效行程 205 mm x 205 mm。
● 直线电机直接驱动,适合精密扫描、定位和稳定闭环控制。
● 交叉滚子导轨支撑,兼顾刚性、负载能力和运动平稳性。
● 支持 AS / ASH 反馈配置,可按应用需求进行系统集成。