产品描述:
KT250XYZ 系列是面向大行程高精密定位的 XYZ 一体式
运动平台,采用直线电机驱动和交叉滚子导轨。平台
集成 250 mm 级 XY 平面运动和 15 mm Z 向微调,可
用于精密检测、光学调校、半导体检测、微纳加工和
自动化设备集成。

产品特性
● 纳米级定位精度,XY 补偿后定位精度 ±0.2 µm,Z 补偿后定位精度 ±0.25 µm。
● XYZ 一体式结构,XY 有效行程 250 mm x 250 mm,Z 有效行程 15 mm。
● 直线电机直接驱动,适合精密扫描、定位和稳定闭环控制。
● 交叉滚子导轨支撑,兼顾刚性、负载能力和运动平稳性。
● 适合与视觉、检测、加工和自动化系统进行集成。