KT-XYZ-100A-100A-20-AS
- 所属分类：直线台
- 产品归属：机械运动平台
- 产品概况：
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高精密 XYZ 一体式运动平台 | Datasheet
产品描述：
KT-XYZ-100A-100A-20-AS 是紧凑型高精密 XYZ 一体式 运动平台，集成 100 mm x 100 mm XY 平面运动和 20 mm Z 向微动，适用于精密检测、光学调校、微纳定 位和自动化设备集成。
产品特性
● XYZ 一体式结构，平台外形紧凑，便于集成到精密检测和自动化系统中。
● X/Y 有效行程 100 mm x 100 mm，Z 有效行程 20 mm。
● 补偿后定位精度 X/Y ±0.25 µm，Z ±0.4 µm；双向重复定位精度 X/Y ±0.1 µm，Z ±0.2 µm。
● 直线电机直接驱动，配合模拟量反馈和 1 nm 分辨率细分。
● X/Y 最大速度 200 mm/s，Z 最大速度 10 mm/s，适合精密定位和扫描应用。
KT-XYZ-100A-100A-20-AS_datasheet.pdf
