产品描述:
KT140XY 系列是纳米级定位精度的 XY 一体式运动平台,采用直线电机驱动和交叉滚子导轨。平台采用
XY 一体化设计,具备低侧向高度、阿贝误差小和结
构紧凑等特点,适合精密检测、光学调校、半导体检测、微纳加工和自动化设备集成。

产品特性
● 纳米级定位精度,补偿后定位精度 ±0.2 µm。
● XY 一体式紧凑结构,低侧向高度并降低阿贝误差影响。
● 直线电机直接驱动,适合高速扫描、精密定位和稳定闭环控制。
● 交叉滚子导轨支撑,兼顾刚性、负载能力和运动平稳性。
● 支持不同行程与反馈接口配置,可按应用需求进行定制。