产品描述:
KT-XYZZ01A 是大理石基座 XYZZ 精密运动平台,集成
X/Y 平面运动、Z1 模组和 Z2 丝杆轴,适用于精密检
测、微纳加工、光学调节和多轴自动化定位应用。

产品特性
● 大理石结构 XYZZ 多轴平台,适合高稳定性精密定位。
● X/Y 行程 250 mm,Z1 行程 15 mm,Z2 行程 100 mm。
● X/Y 补偿后定位精度 ±0.25 µm,双向重复定位精度 ±0.1 µm。
● X/Y 最大速度分别为 400 mm/s 和 100 mm/s,Z2 最大速度 15 mm/s。
● sin-cos 编码器反馈,可细分至 1 nm。