产品描述:
KT140LZS 系列是面向精密 Z 向定位的直线电机升降平
台,采用直线电机驱动、交叉滚子导轨和气弹簧平衡
结构。平台可与 KT140XY 或其他平面运动平台组合为
XYZ 多轴系统,适合精密检测、光学调校、半导体检
测、生物医疗和自动化设备集成。

产品特性
● 纳米级 Z 向 补偿后定位精度 ±0.25 µm。
● 直线电机直接驱动,适合精密升降、对焦、检测和稳定闭环控制。
● 气弹簧平衡结构,降低垂直轴负载影响并提升 Z 向运行稳定性。
● 交叉滚子导轨支撑,兼顾刚性、负载能力和运动平稳性。
● 可与 XY 平台、转台或其他运动模块组合为多轴系统。