KT-Z15 系列

产品描述：

KT-Z15 系列是面向精密 Z 向定位的直线电机升降平台，采用紧凑型直驱结构和高精度反馈。平台可作为独立 Z 轴使用，也可与 XY 平台组合为 XYZ 多轴系统，适合精密对焦、检测、光学调校、半导体检测和自动化设备集成。

产品特性

● 纳米级 Z 向定位精度，补偿后定位精度 ±0.25 µm。

● 紧凑型 15 mm Z 轴结构，适合精密对焦和微位移调整。

● 直线电机直接驱动，最小步距 20 nm。

● 模拟量反馈，可细分至 1 nm 分辨率。

● 可与 XY 平台组合为 XYZ 多轴系统。