产品描述:
KTA-XY-200-200-AS 是高精密 XY 平面气浮台,采用气
浮导向和直线电机驱动,适用于高精度检测、精密加
工、光学调节和自动化定位应用。

产品特性
● XY 平面气浮台,适合高精度平面定位和设备集成。
● X/Y 有效行程均为 200 mm,软限位行程 X 203.32 mm、Y 202.62 mm。
● 补偿后定位精度 ±0.4 µm,双向重复定位精度 ±0.1 µm。
● X/Y 最大速度 200 mm/s,最大加速度 1 g。
● 模拟量编码器反馈,最大负载 30 kg。